Platypus Technologies光刻服务
我们的博士工程师团队在光刻方面拥有数十年的经验，可提供定制表面的制造服务。
我们的能力包括：
具有环氧抗蚀剂（例如SU-8）和金属剥离抗蚀剂的专业知识
i-line（365-nm）准直光
具有真空接触功能的掩模对准器
加工最大6英寸的圆形和方形晶片
特征分辨率低至1 µm
等离子或湿式（HF，食人鱼，KOH）蚀刻
超声波清洗和抗蚀剂显影
先前的项目包括：
图案金电极
光学滤镜
微孔和微柱阵列
用于细胞培养的地形图案化底物
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