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Imec推出高速紫外线感应与时间延迟积分(TDI)成像仪
据麦姆斯咨询报道,本周,在Vision2018展会(2018年11月6日至11月8日)上,世界领先的纳米电子和数字技术研究与创新中心Imec推出了一款基于电荷耦合器件(CCD)-in-CMOS技术的高速紫外线感应与时间延迟积分(TDI)成像仪。TDI成像仪在(近)紫外(UV)区域具有70%以上的量子效率,使其可应用于工业机器视觉,尤其是作为半导体制造过程中的检测工具。这种专业成像仪扩大了Imec基于CCD-in-CMOS的TDI成像仪产品组合,可应用于多种商用型号产品,包括全定制设计产品和评估相机产品。
LEDinside研究经理吴盈洁表示,2016年紫外线LED厂商主要营收仍在UV-ALED营业上,同时部分厂商跨足光固化模块市场,贡献公司营收。
以紫外线LED封装营收来看,前五大为日本与韩国厂商为主,排序为日亚化、NitrideSemiconductors、SeoulViosys、LGInnotek与USHIO/Epitex。
展望2017年厂商表现,韩国厂商将发表系列UV-CLED产品,预估将可大幅贡献营收,营收排名有望重新洗牌。
依应用来看,主要为UV-ALED应用于光固化市场,其中又以需要高辐射照度的平版印刷、高均匀光的曝光机应用市场,此外也有一些特殊固化市场需求等逐渐展开。
通过将imec的背面照明技术与专用抗反射涂层结合使用,可获得紫外线灵敏度。通过背面照明,光从背面直接进入成像器,显着提高了图像传感器的量子效率。通过添加UV特异性抗反射涂层,在250-400nm的(近)UV区域中达到大于70%的高峰值量子效率。对小于可见光的波长敏感使得成像仪能够检测非常小的特征–使该技术特别适用于半导体检测应用,例如掩模,晶圆和颗粒检测。
Imec图像传感器项目经理MaartenRosmeulen表示,“凭借这款高速、低功耗TDI图像传感器,我们很高兴能够扩展具有紫外线感应功能的TDICCD-in-CMOS图像传感器系列。我们现在可以提供在紫外和可见光范围内具有高量子效率的TDICCD-in-CMOS图像传感器,从而实现丰富的高端用,包括遥感、医学成像和工业机器视觉。”
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