涡流式位移传感器是非接触式传感器。它具有测量动态范围大，结构简单不受介质影响抗干扰能力强等特点。

图2-10所示为电涡流传感器的原理。传感器以通有高频交流电流的线圈为主要测量 元件。当载流线圈靠近被测导体试件表面时，穿过导体的磁通量随时间变化，在导体表而感应出电涡流。电涡流产生的磁通量又穿过线圈，因此线圈与涡流相当于两个具有互感的线圈。互感的大小和线圈与导体表向的间隙有关，等效电路如图2-10(b)所示。R、L为 传感器线圈的电阻与自感，R_e、L_e为涡流的电阻和电感。当电流频ω很高时，ωLe》Re。

传感器线圈的等效阻抗可简化为

式中，为耦合系数，M为互感系数。由于互感 L 和传感器线圈与导体试件表而的距离 d 有关，因此耦合系数点也随 d 而变化。在测量线圈上并联一个电容 C，构成 L-C-R 振荡回路，其谐振频率为

由此可见，传感器等效阻抗 Z、谐振频率 f 和耦合系数 k 有关，也就是与间隙系数有关。

在谐振回路之前引进一个分压电阻R_e，令 Re»|Z| ，则输出电压信号为

当 Re 确定时，输出电压仅取决于振动回路的阻抗。

电涡流传感器的特点是：结构简单，灵敏度高，线性度好，频率范围为0〜10kHz, 抗干扰性强。因此被广泛应用于不接触式振动位移测量。

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